質量流量控制器是用于精確控制氣體體積流量的儀表，由質量流量傳感器、熱式原件、調節閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成，它相較于質量流量計多了一個精密的電磁比例調節閥。因此，一般情況下控制器會有一個閥門全開模式，可以作為質量流量計來使用。
工作原理：
質量流量控制器內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，并根據作為電信號發送的設定流量通過精密電磁比例調節閥自動控制氣體流量，從而提供更加準確和穩定的流量測量和控制。
其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
質量流量計和質量流量控制器相較于傳統流量計不管是在使用的便捷性，還是長期穩定性、可靠性上都有著極大的優勢：
(1)傳統流量計包括浮子流量計、渦輪流量計、容積流量計等，這類傳統流量計內部有運動部件，適用范圍相對比較狹小，在微流量測量領域精度較差。而新型質量流量計和控制器量程比可達100:1，精度可做到0.5%~1.0%RD(流量讀數*0.5%~1.0%)或者0.5%~1.0%SP(流量設定值*0.5%~1.0%)。
(2)新型的質量流量計和控制器在設計之初就貼合了制造業的在線監測和反饋控制的需求，可遠程通過模擬信號量(4-20mA)/0-5V或者數字信號量RS485、profibus等進行數據監測以及流量的精確控制。
